小型スリットコーター、小型ナノインプリント装置、精密ステージのウェルテック

マイクロナノインプリントのウェルテック


製品情報
Product

小型ナノインプリント装置(微細転写成形)

小型UVナノインプリント装置

枚葉UVナノインプリント装置を精密と高性能を維持したまま卓上化&低コストをしました。材料評価・金型評価・相性評価・硬化条件・残膜条件等々の基本的な検証に最適です。サンプル作成やテストインプリントにも対応しています。
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光学検査用高精度自動位置決めユニット

高精度でコンパクト化された光学検査用の自動位置決めユニットです。
既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させています。

【製作例1】
 両面パターンズレ検査用ユニット

・ワーク表裏面のパターンズレ測定
 (サイズ:W500×D780×H700)
・オリジナル電動レボルバを採用し、上下対物レンズの軸を高精度に合わせる
・高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を組み込んだオートステージ
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【製作例2】
 張り合わせ位置調整用自動位置決めユニット

・FPDボンディング工程に使用される自動位置決めユニット
・YZθの自動3軸を、非常にコンパクトにまとめた上、
 高速タクトに追従
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ターンテーブル

薄型ターンテーブル

『極薄』『低コスト』

1.高さ35mm、極薄で床工事不要。
  物流装置等の設置に最適。

2.耐荷重500㎏、カスタマイズ対応可能。
3.搭載駆動モータは400W、
  汎用モータ or サーボモータは選択。

4.制御方法は打合せにより決定。
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フィルムハンドリングシステム

フィルム状基材に任意の処理を行うためのハンドリングシステム

・張力制御はパウダークラッチやテンションセンサを用いた
   フィードバック制御、 ダンサー制御等対応

・ロールの振れを抑える軸受の採用により安定したフィルム走行