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張り合わせ位置調整用自動位置決めユニット

FPDのボンディング工程に使用される自動位置決めユニットです。YZθの自動3軸を、非常にコンパクトにまとめた為、装置の小型化が可能となりました。また、高速タクトに追従する為に、高速・高精度位置決めと、高い信頼性を実現したユニットです。

ケーブルやハーネスの処理まで対応して納品しますので、お客様は装置に搭載するだけで運転が可能です。お客様装置の生産性向上に大きく貢献したユニットです。

製品の仕様

  Y軸 Z軸 θ軸
移動ストローク 170mm 20mm ±5度
最大移動速度 600mm/sec 600mm/sec 5度/秒
駆動機構 ボールねじ ボールねじ ハーモニックドライブ
アクチェーター サーボモーター サーボモーター ステッピングモーター
位置決め分解能 0.5μ 0.5μ 0.001度
繰返し位置決め精度 ±2μ ±2μ ±0.002度
真直性 10μ以内 10μ以内 10μ以内(面振)

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