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高さ合わせ用自動大型Z軸ステージ

FPD搬送時の高さ合わせに使用される自動Z軸ユニットです。舞台が上下する水平面移動型のユニットです。テーブルサイズは□400mmと大型ですが、高さ120mmに押さえた薄型タイプです。また、ステッピングモーター仕様ですが、過半重量100kgとハイパワーです。お客様の装置の小型化と高効率化に大きく貢献したユニットです。

製品の仕様

移動ストローク 20mm
最大移動速度 20mm/sec
駆動機構 ボールねじ+くさび機構
アクチェーター ステッピングモーター
位置決め分解能 1.0μ
繰返し位置決め精度 ±2μ
真直性 10μ以内
面倒れ性 10μ以内

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