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画像検査用自動XYステージ

画像検査用XYステージです。被検査対象物の高速・高精度位置決めに使用します。
小型化とコストパフォーマンスに優れたユニットです。

製品の仕様

  X軸 Y軸
移動ストローク 300mm 150mm
最大移動速度 200mm/sec 200mm/sec
駆動機構 ボールねじ ボールねじ
アクチェーター サーボモーター サーボモーター
位置決め分解能 1.0μ 1.0μ
繰返し位置決め精度 ±2μ ±2μ
真直性 5μ以内 5μ以内

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